अपने क्लीनरूम को साफ रखना: हीटिंग संबंधी सच्चाईयाँ
यदि आप क्लास 100 क्लीनरूम चला रहे हैं, तो आपको पहले से ही पता होगा कि एयर फिल्टर ही समस्या का एकमात्र समाधान नहीं हैं। वास्तविक समस्या तो ऊष्मा स्रोत से निकलने वाली गैसें एवं छोटे-छोटे कण हैं। ऐसी स्थितियों में ही समस्याएँ पैदा होती हैं।
अपने वेफरों पर दूषित पदार्थों के जमाव को रोकने हेतु, हम अपने IR लैम्पों में उच्च शुद्धता वाले सिंथेटिक क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं। ऐसा करने से ही बेहतर परिणाम प्राप्त होते हैं।
क्यों क्वार्ट्ज महत्वपूर्ण है?
दरअसल, सामान्य काँच या सस्ते सामग्रियों में गर्म होने पर दूषित पदार्थ निकलने लगते हैं। हम उच्च शुद्धता वाले फ्यूज्ड सिलिका का उपयोग करते हैं; क्योंकि यह अत्यधिक गर्मी में भी अपने गुणों को बनाए रखता है। इसकी सतह रासायनिक रूप से स्थिर रहती है।
ये लैम्प शॉर्ट-वेव IR विकिरण उत्पन्न करते हैं। सबसे अच्छी बात यह है कि ऊष्मा सीधे लक्ष्य तक पहुँचती है; इससे आसपास की हवा गर्म नहीं होती, जिससे धूल उड़ने की समस्या नहीं होती।
“कणों के जमाव” को रोकना
क्लीनरूम में उपयोग होने वाले अधिकांश हीटिंग उपकरण छोट-छोटी समस्याओं के कारण ही खराब हो जाते हैं – जैसे कनेक्टर या कोटिंग। हम प्रीसिजन-फिट टर्मिनलों का उपयोग करते हैं; ताकि धातु के विस्तार/संकुचन के कारण धातु के टुकड़े न टूटें।
हम क्वार्ट्ज की सतह को भी विशेष रूप से साफ करते हैं; ताकि सतह पर मौजूद छिद्र बंद रहें, जहाँ कण छिप सकें।
इसके अलावा, हमने इन लैम्पों की डिज़ाइन को सरल रखा है। इनका आकार छोटा है, इसलिए इन्हें कॉम्पैक्ट हीटिंग ज़ोनों में आसानी से लगाया जा सकता है। कम पुर्जों के कारण खराब होने की संभावना भी कम हो जाती है।
“ध्यान रखने योग्य बातें”
हालाँकि, उच्च शुद्धता वाला क्वार्ट्ज तो साफ होता है, लेकिन यह भंगुर भी होता है।
कृपया इन लैम्पों को अपने नंगे हाथों से न छूएं। वास्तव में, आपकी त्वचा से निकलने वाले तेल गर्मी पैदा करते हैं, जिससे लैम्प जल्दी ही खराब हो जाता है। अपनी इंस्टॉलेशन टीम को कहें कि वे लिंट-फ्री दस्ताने एवं थोड़ा आइसोप्रोपाइल अल्कोहल का उपयोग करके ही लैम्पों की सफाई करें।
एक और बात – ये लैम्प छोटे स्थान में भी बहुत अधिक ऊष्मा उत्पन्न करते हैं। इसलिए आपको ठीक से कूलिंग फैनों का उपयोग करना होगा। यदि हवा का प्रवाह कम होगा, तो ऊष्मा के कारण लैम्प का आवरण विकृत हो जाएगा, जिससे लैम्प जल्दी ही खराब हो जाएगा। लैम्पों को ठंडा रखें, ताकि वे लंबे समय तक काम कर सकें।