En la línea de 300 mm, una fina capa de agua que queda después del proceso de limpieza puede arruinar los resultados obtenidos. La humedad residual altera el perfil del fotorresistente, y un secado desigual es, en esencia, una invitación para que se formen partículas indeseadas.
Para solucionar este problema, diseñamos un panel de secado por infrarrojos que permite utilizar energía localizada y controlada, en lugar de calor generado por un haz amplio. De esta manera, el wafer se seca sin que la capa de fotorresistente sufra daños.
El panel funciona con emisores de infrarrojos de onda corta, distribuidos en zonas controladas de forma independiente. Cada zona mantiene una uniformidad de temperatura de ±0.1°C sobre toda la superficie del wafer, lo que permite mantener un control preciso de la temperatura.
La superficie de cuarzo y la carcasa sellada evitan la formación de partículas, lo que permite mantener las condiciones adecuadas en las salas limpias de clase 1 a 100. La potencia de salida por zona varía entre 200 W y 1.2 kW, y el panel está diseñado para funcionar 24/7 sin interrupciones.
El control de temperatura se ajusta a los tiempos necesarios para el secado del fotorresistente, lo que garantiza un secado uniforme y sin excesos de temperatura.
En la práctica, esto significa menos trabajos de retoque y un control más preciso de las dimensiones críticas del wafer. Se puede aumentar la productividad sin tener que lidiar con productos defectuosos, además de reducir el consumo de energía, ya que el calor solo se aplica donde es necesario.
Para el secado posterior a la limpieza y el procesamiento del fotorresistente, el panel mantiene al wafer seco, preservando el perfil del fotorresistente y permitiendo que la línea continúe funcionando sin interrupciones.
La instalación es sencilla, pero la alineación es algo que no se puede descuidar. El panel debe estar posicionado de manera adecuada, de acuerdo con la trayectoria del wafer y la geometría del sistema de extracción de aire. De lo contrario, se volverá a generar humedad.
El panel se integra con las interfaces estándar, pero se necesita un sistema de enfriamiento adecuado para mantener estable la temperatura de los emisores. Con esto, el panel puede funcionar de manera consistente, turno tras turno.