Deje de perder calor en el procesamiento de sus obleas de silicio
Cuando se calienta una oblea de silicio, cada vatio cuenta. Pero aquí está el problema: las lámparas IR convencionales son ineficientes; liberan energía por todas partes, excepto donde realmente se necesita: en la superficie de la oblea.
Lo resolvimos utilizando reflectores recubiertos de oro. En lugar de dejar que el calor se disperse, dirigimos el espectro infrarrojo directamente hacia la superficie de la oblea.
¿Por qué el oro?
No se trata de su aspecto decorativo. El oro refleja la luz infrarroja mucho mejor que el aluminio o el acero pulido. Al añadir una capa fina de oro, evitamos que el reflector absorba el calor. La mayor parte de esa energía va directamente hacia la oblea. De esta manera, se obtiene un flujo de calor mucho mayor, sin tener que aumentar la voltaje al máximo. Además, el chasis de la máquina permanece más frío, ya que el calor va directamente al chip, y no al chasis.
Las desventajas de la alta densidad de energía
Por otro lado, concentrar toda esa energía puede ser problemático. Por un lado, los tiempos de calentamiento son rápidos y la temperatura en toda la oblea es uniforme. Pero esto ejerce mucha presión sobre los sensores de control. Si el controlador PID no está ajustado para manejar ese tipo de transferencia de calor rápida, se superará la temperatura deseada. Sucede muy rápido.
Los sacrificios que hay que hacer
Seamos honestos: el oro es caro y delicado. Ofrece el mejor rendimiento térmico posible, pero no puede soportar condiciones adversas. Los productos químicos corrosivos o un manejo incorrecto pueden dañarlo. Es necesario mantener estos reflectores impecables. Incluso unas pocas huellas dactilares o una capa fina de polvo pueden reducir su eficacia. Eso causará puntos calientes, lo que a su vez provocará deformaciones o un dopaje irregular. No es nada bueno.
Hemos diseñado estos sistemas para aquellos que necesitan precisión absoluta. Se obtiene un perfil térmico más preciso, y además, los costos de energía disminuyen. Solo un consejo: asegúrese de que su sistema de enfriamiento pueda manejar el calor concentrado en la carcasa de la lámpara.